La microscopie électronique à balayage est une technique d’investigation de la surface d’échantillons massifs avec, pour principales caractéristiques :
- une grande résolution spatiale (de l’ordre du nanomètre),
- des possibilités de grandissements continus, de x10 à x100 000 et plus,
- une grande profondeur de champ, « effet de relief »,
- une richesse d’information en imagerie : topographie, contraste chimique, cartographie X, orientation cristallographique…
- la possibilité d’analyse chimique élémentaire : EDS, WDS,
- peu ou pas de préparation d’échantillon,
- la possibilité d’observer des échantillons fragiles ou isolants,
- un vaste domaine d’utilisation : de la métallurgie à la biologie.
Référence :
L. Maniguet, M. Repoux, J. Ruste, F. Roussel-Dherbey, Microscopie électronique à balayage et Microanalyses, Introduction, Ouvrage Ecole d’été GNMEBA, Grenoble (2006)