MEB FEG ZEISS GeminiSEM 500

Microscope électronique à balayage à haute résolution

Spécificité de la machine

Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
Mode haut vide (HV) ou mode pression controlée (VP/NanoVP/XVP)
Tension d’accélération : 0.02 à 30 kV
Résolution en électrons secondaires :
- 0,6 nm à 15kV
- 1,1 nm à 1kV

Imagerie en mode haut vide

en électrons secondaires (In-Lens / Everhart-Thornley )
en électrons rétrodiffusés (EsB / QBSD)
en électrons transmis (STEM)

Imagerie en mode pression controlée

en électrons secondaires (suivant la pression : VPSE et/ou In-Lens )
en électrons rétrodiffusés (suivant la pression: VPSD et/ou EsB)

Équipements

Système de microanalyse X à sélection d'énergie (EDS) avec un détecteur SDD (EDAX OCTANE ELITE 25 avec fenêtre céramique Si3N4 - 60mm²)
Système d'analyse EBSD avec caméra CCD numérique (EDAX HIKARI SUPER) et logiciels OIM et TEAM

In-situ

Plasma cleaner
Nano indentation
Traction à l'ambiante et à chaud, à plat ou tiltée à 70°

mise à jour le 31 mars 2020

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Domaine Universitaire - 1260 rue de la Piscine - BP 75
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Tél. : +33 (0)4 76 82 66 03