Microscope électronique à balayage à haute résolution
Spécificité de la machine 
- Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
- Mode haut vide (HV) ou mode pression controlée (VP/NanoVP/XVP)
- Tension d’accélération : 0.02 à 30 kV
- Résolution en électrons secondaires :
- 0,6 nm à 15kV
- 1,1 nm à 1kV
Imagerie en mode haut vide
- en électrons secondaires (In-Lens / Everhart-Thornley )
- en électrons rétrodiffusés (EsB / QBSD)
- en électrons transmis (STEM)
Imagerie en mode pression controlée
- en électrons secondaires (suivant la pression : VPSE et/ou In-Lens )
- en électrons rétrodiffusés (suivant la pression: VPSD et/ou EsB)
Équipements
- Système de microanalyse X à sélection d'énergie (EDS) avec un détecteur SDD (EDAX OCTANE ELITE 25 avec fenêtre céramique Si3N4 - 60mm²)
- Système d'analyse EBSD avec caméra CCD numérique (EDAX HIKARI SUPER) et logiciels OIM et TEAM
In-situ
- Plasma cleaner
- Nano indentation
- Traction à l'ambiante et à chaud, à plat ou tiltée à 70°
