Une microsonde électronique est un microscope électronique à balayage équipé de spectromètres à dispersion de longueur d'onde (WDS) et muni d'une régulation de courant.
Cet appareillage est dédié à la microanalyse X de matériaux solides. Il s'agit d'une technique non destructive qui permet de déterminer la teneur des éléments chimiques présents dans un volume de l'ordre de 1µm3.
Caractéristiques
- Eléments analysés :
- Du Béryllium à l'Uranium
- Haute sensibilité à la détection des éléments légers (Be, B, C, N, O, F)
- Limite de détection : quelques dizaines de ppm pour les éléments autres que les éléments légers
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Justesse relative de la mesure : 1 à 3%
- Tension d'accélération des électrons : de 5 à 30kV
- Courant de sonde régulé jusqu'à env. 1µA
- Résolution spectrale (raie Mn Ka) : 17eV (LiF)