MEB FEG ZEISS GeminiSEM 300

Microscope électronique à balayage à haute résolution

Spécificité de la machine

Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
Mode haut vide (HV)
Tension d’accélération : 0.02 à 30 kV
Résolution en électrons secondaires :
- 0,7 nm à 15kV
- 1,2 nm à 1kV - 1,1nm avec polarisation
- 1,5 nm à 500V
Courant de sonde : 3 pA à 20 nA
7 diaphragmes électrostatiques
Platine eucentrique 6 axes motorisés

Imagerie en mode haut vide

en électrons secondaires (In-Lens / Everhart-Thornley )
en électrons rétrodiffusés (EsB avec filtrage en énergie / BSD rétractable 6 secteurs)

mise à jour le 31 mars 2020

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