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MEB FEG ZEISS GeminiSEM 300
Microscope électronique à balayage à haute résolution
Spécificité de la machine
Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
Mode haut vide (HV)
Tension d’accélération : 0.02 à 30 kV
Résolution en électrons secondaires :
0,7 nm à 15kV
1,2 nm à 1kV - 1,1nm avec polarisation
1,5 nm à 500V
Courant de sonde : 3 pA à 20 nA
7 diaphragmes électrostatiques
Platine eucentrique 6 axes motorisés
Imagerie en mode haut vide
en électrons secondaires (In-Lens / Everhart-Thornley )
en électrons rétrodiffusés (EsB avec filtrage en énergie / BSD rétractable 6 secteurs)
mise à jour le 31 mars 2020
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CMTC - Consortium des Moyens Technologiques Communs
Domaine Universitaire - 1260 rue de la Piscine - BP 75
38402 Saint-Martin-d'Hères Cedex
Tél. : +33 (0)4 76 82 66 03 - Fax. : +33 (0)4 76 82 66 64
www.grenoble-inp.fr/
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