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Recherche - Formation - Valorisation

Plateforme technologique de caractérisation des matériaux

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> CMTC_Equipements

MEB FEG ZEISS GeminiSEM 300

Microscope électronique à balayage à haute résolution

Spécificité de la machine MEB FEG Zeiss GS300 - LMGP/CMTC
  • Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
  • Mode haut vide (HV)
  • Tension d’accélération : 0.02 à 30 kV
  • Résolution en électrons secondaires :
    • 0,7 nm à 15kV
    • 1,2 nm à 1kV - 1,1nm avec polarisation
    • 1,5 nm à 500V
  • Courant de sonde : 3 pA à 20 nA
  • 7 diaphragmes électrostatiques
  • Platine eucentrique 6 axes motorisés

Imagerie en mode haut vide
  • en électrons secondaires (In-Lens / Everhart-Thornley )
  • en électrons rétrodiffusés (EsB avec filtrage en énergie / BSD rétractable 6 secteurs)

mise à jour le 31 mars 2020

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CMTC - Consortium des Moyens Technologiques Communs
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Université Grenoble Alpes