MEB FEG ZEISS GeminiSEM 300

Microscope électronique à balayage à haute résolution

Spécificité de la machine

Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
Mode haut vide (HV)
Tension d’accélération : 0.02 à 30 kV
Résolution en électrons secondaires :
- 0,7 nm à 15kV
- 1,2 nm à 1kV - 1,1nm avec polarisation
- 1,5 nm à 500V
Courant de sonde : 3 pA à 20 nA
7 diaphragmes électrostatiques
Platine eucentrique 6 axes motorisés

Imagerie en mode haut vide

en électrons secondaires (In-Lens / Everhart-Thornley )
en électrons rétrodiffusés (EsB avec filtrage en énergie / BSD rétractable 6 secteurs)

Équipement

Système de microanalyse X à sélection d'énergie (EDS) avec un détecteur SDD (BRUKER AXS-30mm2)

mise à jour le 4 février 2021

Nous écrire

Contact

Réserver un équipement

Avec le soutien

CMTC - Consortium des Moyens Technologiques Communs
Domaine Universitaire - 1260 rue de la Piscine - BP 75
38402 Saint-Martin-d'Hères Cedex
Tél. : +33 (0)4 76 82 66 03 - Fax. : +33 (0)4 76 82 66 64