MEB FEG ZEISS GeminiSEM 300

Microscope électronique à balayage à haute résolution

Spécificité de la machine

• Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
• Mode haut vide (HV)
• Tension d’accélération : 0.02 à 30 kV
• Résolution en électrons secondaires :
  • 0,7 nm à 15kV
  • 1,2 nm à 1kV - 1,1nm avec polarisation
  • 1,5 nm à 500V
• Courant de sonde : 3 pA à 20 nA
• 7 diaphragmes électrostatiques
• Platine eucentrique 6 axes motorisés

Imagerie en mode haut vide

• en électrons secondaires (In-Lens / Everhart-Thornley )
• en électrons rétrodiffusés (EsB avec filtrage en énergie / BSD rétractable 6 secteurs)

Équipement

• Système de microanalyse X à sélection d'énergie (EDS) avec un détecteur SDD (BRUKER AXS-30mm2)