Microscope électronique à balayage à effet de champ
Spécificité de la machine 
- Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
- Mode haut vide (HV) à 10-4Pa ou mode faible vide (LV) de 10 à 150 Pa sous air
- Tension d’accélération : 0.5 à 30 kV
- Résolution en électrons secondaires (Mode HV) :
- 1,5 nm à 30kV
- 4,0 nm à 1kV
Imagerie en mode haut vide
- caméra optique de navigation
- en électrons secondaires (Everhart-Thornley )
- en électrons rétrodiffusés (BED)
Équipement
- Système de microanalyse X à sélection d'énergie (EDS) avec un détecteur SDD (BRUKER 60mm²)