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Grenoble INP
Recherche - Formation - Valorisation

Plateforme technologique de caractérisation des matériaux

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Microsonde de Castaing - WDS - Généralités

Une microsonde électronique est un microscope électronique à balayage équipé de spectromètres à dispersion de longueur d'onde (WDS) et muni d'une régulation de courant.

Cet appareillage est dédié à la microanalyse X de matériaux solides. Il s'agit d'une technique non destructive qui permet de déterminer la teneur des éléments chimiques présents dans un volume de l'ordre de 1µm3.

Caractéristiques
  • Eléments analysés :
              - Du Béryllium à l'Uranium
              - Haute sensibilité à la détection des éléments légers (Be, B, C, N, O, F)
  • Limite de détection : quelques dizaines de ppm pour les éléments autres que les éléments légers
  • WDS-EDSJustesse relative de la mesure : 1 à 3%
  • Tension d'accélération des électrons : de 5 à 30kV
  • Courant de sonde régulé jusqu'à env. 1µA
  • Résolution spectrale (raie Mn Ka) : 17eV (LiF)




Rédigé par Rachel Martin

mise à jour le 18 janvier 2017

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