Spécificités de la machine
L’automatisation de la microsonde électronique CAMECA SX100 ainsi que l’analyse utilisent le logiciel Cameca Peaksight.
La microsonde est équipée :
d'un canon à filament de W
d'une platine motorisée avec déplacement en x, y, z au µm près
de 4 spectromètres verticaux à dispersion de longueur d'onde (dont un à haute pression Ar-CH4) avec cristaux conventionnels (TAP, PET, LiF) ou multi-couches (PC1:W/Si, PC2:Ni/C, PC3: Mo/B4C)
d'un piège à azote liquide et d'une micro-fuite d'oxygène (système anti-contamination pour l'analyse des éléments légers)
Travaux réalisés
Images en électrons secondaires (Everhart-Thornley), rétrodiffusés et absorbés
Programmation de pointés et de profils d'analyse, de spectres en longueur d'onde,...
Analyse de couches minces réalisée avec le logiciel Stratagem SAMx
Nos sites
e-Services
