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CMTC_Equipements
Electron probe micro-analyser CAMECA SX100 (EPMA)
Specifications
CAMECA SX100 microprobe automation and analysis are done via Cameca Peaksight PC software.
The microprobe is equipped with :
a tungsten filament gun
a motorised sample stage (x, y, z) with 1 µm reproducibility
4 vertical WDS spectrometers mounted vertically (one is a high Ar-CH4 pressure) with conventionnal diffracting crystals (TAP, PET, LiF) or multi-layers monochromators (PC1:W/Si, PC2:Ni/C, PC3: Mo/B4C)
an anticontamination system : O2 gas jet, LN2 cold plate (for light elements analysis)
Applications
secondary-electrons (Everhart-Thornley) imaging, back-scattered and absorbed-electron imaging
Programming analysis points and profiles, wavelength spectra acquisition,..
Dedicated SAMx Stratagem software for thin film analysis is also used
2D element mapping
Date of update April 14, 2020
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CMTC - Consortium des Moyens Technologiques Communs
Domaine Universitaire - 1260 rue de la Piscine - BP 75
38402 Saint-Martin-d'Hères Cedex
Tél. : +33 (0)4 76 82 66 03
www.grenoble-inp.fr/
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