Spécificités de la machine Microsonde électronique CAMECA SX50 automatisée par les logiciels SAMx et équipée :
d'un canon à filament de W
d'une platine motorisée avec déplacement en x, y, z au µm près
de 4 spectromètres verticaux à dispersion de longueur d'onde (dont un à haute pression Ar-CH4) avec cristaux conventionnels (TAP, PET, LiF) ou multi-couches (PC1:W/Si, PC2:Ni/C, PC3: Mo/B4C)
d'un spectromètre à sélection d'énergie (EDS)
d'un piège à azote liquide et d'une micro-fuite d'oxygène (système anti-contamination pour l'analyse des éléments légers)
Travaux réalisés
Images en électrons secondaires (Everhart-Thornley), rétrodiffusés et absorbés
Programmation de pointés et de profils d'analyse, de spectres en longueur d'onde,...