Equipement financé par la fondation Nanosciences dans le cadre du RTRA « nanosciences aux limites de la nanoélectronique ». Son utilisation est partagée entre les plateformes PFNC, PTA et CMTC. Il est situé sur la plate-forme de nano-caractérisation (PFNC, CEA Minatec)
- Colonne MEB GEMINI équipée d’un canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
- Résolution 1,1 nm@ 20kV
- Imagerie en électrons secondaires (détecteurs : in-lens dans la colonne/ SESI externe)
- Imagerie en électrons rétrodiffusés (détecteurs : EsB dans la colonne/ QBSD externe rétractable)
- Imagerie en électrons transmis (détecteur STEM rétractable)
- Colonne FIB SIINT ZETA équipée d’une source Galium
- Résolution 4 nm @30kV
- Courant discret de 0,1 pA à 45 nA
Equipements
- Système d’injection de gaz (GIS) pour réaliser des dépôts localisés : carbone, tungstène (ou platine), SiO2, H20 (comme accélérateur de gravure)
- Micromanipulateurs de type Kleindiek MM3A-EM
- Canon Flood Gun neutraliseur de charges positives au cours de l’abrasion ionique ? Système de décontamination Evactron par plasma d’oxygène
- Système de microanalyse X à sélection d’énergie (EDS) avec un détecteur SDD Bruker AXS
- Système de nanopatterning NPVE – FIBICS avec une solution ATLAS 3D
Financement
Partenaires
