Equipement financé par la fondation Nanosciences dans le cadre du RTRA « nanosciences aux limites de la nanoélectronique ». Son utilisation est partagée entre les plateformes PFNC, PTA et CMTC. Il est situé sur la plate-forme de nano-caractérisation (PFNC, CEA Minatec) Caractéristiques
Colonne MEB GEMINI équipée d’un canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
Résolution 1,1 nm@ 20kV
Imagerie en électrons secondaires (détecteurs : in-lens dans la colonne/ SESI externe)
Imagerie en électrons rétrodiffusés (détecteurs : EsB dans la colonne/ QBSD externe rétractable)
Imagerie en électrons transmis (détecteur STEM rétractable)
Colonne FIB SIINT ZETA équipée d’une source Galium
Résolution 4 nm @30kV
Courant discret de 0,1 pA à 45 nA
Equipements
Système d’injection de gaz (GIS) pour réaliser des dépôts localisés : carbone, tungstène (ou platine), SiO2, H20 (comme accélérateur de gravure)
Micromanipulateurs de type Kleindiek MM3A-EM
Canon Flood Gun neutraliseur de charges positives au cours de l’abrasion ionique ? Système de décontamination Evactron par plasma d’oxygène
Système de microanalyse X à sélection d’énergie (EDS) avec un détecteur SDD Bruker AXS
Système de nanopatterning NPVE – FIBICS avec une solution ATLAS 3D
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