Une microsonde électronique est un microscope électronique à balayage équipé de spectromètres à dispersion de longueur d'onde (WDS) et muni d'une régulation de courant. Cet appareillage est dédié à la microanalyse X de matériaux solides : c'est une technique non destructive permettant de déterminer la concentration des éléments présents dans un volume de l'ordre du µm3. Une microanalyse X quantitative en WDS se fait toujours par référence à des témoins. L'échantillon à analyser et les témoins doivent présenter un état de surface parfaitement plan.
Equipements
Spectrométrie WDS Eléments analysés : Béryllium - Uranium courant de sonde régulé résolution spectrale (raie Mn-Ka) : 17 eV (LiF) limite de détection : de l'ordre de 100 ppm pour les éléments autres que les éléments légers
La microsonde électronique CAMECA SX50 du CMTC est automatisée par les logiciels SAMx.Elle est équipée :
de 4 spectromètres à dispersion de longueur d'onde (WDS) avec cristaux conventionnels ou multi-couches,
d'un spectromètre à sélection d'énergie (EDS),
d'un piège à azote liquide et d'une fuite d'air, limitant la contamination sur les échantillons, pour une analyse plus juste des éléments légers.