Microscope électronique à balayage à haute résolution
Spécificité de la machine
- Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
- Mode haut vide (HV) ou mode pression controlée (VP)
- Tension d’accélération : 0.02 à 30 kV
- Résolution en électrons secondaires :
- 0,7 nm à 15kV
- 1,1 nm à 1kV
Imagerie en mode haut vide
- en électrons secondaires (In-Lens / Everhart-Thornley)
- en électrons rétrodiffusés (EsB / BSD)
Imagerie en mode pression controlée
- en électrons secondaires (suivant la pression : C2D et/ou In-Lens)
- en électrons rétrodiffusés (EsB)
Équipements
- Système de microanalyse X à sélection d'énergie (EDS) avec un détecteur SDD Brucker XFlash 7-60 (Génération 7 avec une surface de 60 mm²)
- Système d'analyse EBSD avec caméra CCD numérique (EDAX HIKARI SUPER) et logiciels OIM et TEAM