Nano indentation in-situ dans un MEB

 

La nanoindentation est une technique puissante pour la caractérisation des propriétés mécaniques locales. En nanoindentation, la gamme de profondeur sondée est de quelques nanomètres au micromètre, ce qui permet l’étude de films minces ou d’objets submicrométriques. A partir des données de charge, déplacement et rigidité de contact, la dureté et le module d’Young peuvent être calculées de manière continue. De plus, des post-traitements numériques par la méthode des éléments finis permettent l’identification de lois de comportementmécanique (par ex. courbes contrainte-déformation). 

Le montage de nanoindentation in-situ au MEB permet de positionner précisément les mesures sur des objets sub-micrométriques (résolution < 100nm) et d’imager en temps réel les événements mécaniques pouvant survenir lors de l’indentation.
 

Le couplage entre nanoindentation et techniques EDS ou EBSD est en cours de développement.
La tête de nanoindentation est aussi compatible pour des mesures électriques hautes résolutions lors des essais.