MEB FEG Environnemental FEI QUANTA 250

Microscope électronique à balayage à effet de champ environnemental (ESEM FEG)

Spécificité de la machine

Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
Mode haut vide (HV) à 10-4 Pa
Mode faible vide (LV) jusqu’à 300 Pa de vapeur d’eau
Mode environnemental (ESEM) jusqu’à 3000 Pa de vapeur d’eau
Tension d’accélération : 200 V à 30 kV
Résolution en électrons secondaires :
- 1,0 nm à 30 kV et 3 nm à 1 kV (Mode HV)
- 1,4 nm à 30 kV et 3 nm à 3 kV (Mode LV)

Imagerie

en électrons secondaires (Everhart-Thornley en mode HV, LFD en mode LV, GSED en mode ESEM)
en électrons rétrodiffusés (vCD en modes HV et LV, GAD en modes LV et ESEM)
en électrons transmis (STEM en modes HV et LV, WetSTEM en mode ESEM)

Équipements

Platine Peltier équipée du module WetSTEM
Platines chauffantes de l’ambiante à 1500°C sous atmosphère de vapeur d’eau

mise à jour le 3 février 2021

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