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Plateforme technologique de caractérisation des matériaux

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MEB - EDS - Généralités

La microscopie électronique à balayage est une technique d’investigation de la surface d’échantillons massifs avec, pour principales caractéristiques :
  • une grande résolution spatiale (de l’ordre du nanomètre),
  • des possibilités de grandissements continus, de x10 à x100 000 et plus,
  • une grande profondeur de champ, « effet de relief »,
  • une richesse d’information en imagerie : topographie, contraste chimique, cartographie X, orientation cristallographique…
  • la possibilité d’analyse chimique élémentaire : EDS, WDS,
  • peu ou pas de préparation d’échantillon,
  • la possibilité d’observer des échantillons fragiles ou isolants,
  • un vaste domaine d’utilisation : de la métallurgie à la biologie.
MEB-EDS - Interactions

Référence :
L. Maniguet, M. Repoux, J. Ruste, F. Roussel-Dherbey, Microscopie électronique à balayage et Microanalyses, Introduction, Ouvrage Ecole d’été GNMEBA, Grenoble (2006)

 

mise à jour le 9 mai 2022

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