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Grenoble INP
Recherche - Formation - Valorisation

Plateforme technologique de caractérisation des matériaux

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MET Généralités

Film TiN sur acierLe microscope électronique en transmission (MET) utilise une des interactions électrons-matière, la diffusion élastique des électrons. C'est cette diffusion qui est responsable de la diffraction dans un matériau cristallisé.
La puissance d'un MET est de pouvoir visualiser l'information soit dans l'espace réel (image  représentative de l'état cristallin du volume de matière traversé), soit dans l'espace réciproque (spots lumineux constituants le diagramme de diffraction).Diagramme de diffraction électronique



Pour obtenir de bons résultats il est très important d'avoir un échantillon très mince (~100nm ou moins), afin qu'un grand nombre d'électrons puissent le traverser et contribuer à un signal fort.
Image haute résolution




Quand l'échantillon est suffisamment fin, bien orienté et cohérent sur l'ensemble de l'épaisseur, on peut réaliser des clichés en haute résolution et visualiser les rangées d'atomes.




Rédigé par Rachel Martin

mise à jour le 6 février 2017

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