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Grenoble INP
Recherche - Formation - Valorisation

Plateforme technologique de caractérisation des matériaux

Recherche - Formation - Valorisation

MEB-FIB ZEISS NVISION 40

Equipement financé par la fondation Nanosciences dans le cadre du RTRA « nanosciences aux limites de la nanoélectronique ». Son utilisation est partagée entre les plateformes PFNC, PTA et CMTC. Il est situé sur la plate-forme de nano-caractérisation (PFNC, CEA Minatec)

CMTC-FIB Zeiss NVISION 40Caractéristiques
  • Colonne MEB GEMINI équipée d’un canon à effet de champ (FEG) de type  Schottky
    • Résolution 1,1 nm@ 20kV
    • Imagerie en électrons secondaires (détecteurs : in-lens dans la colonne/ SESI externe)
    • Imagerie en électrons rétrodiffusés (détecteurs : EsB dans la colonne/ QBSD externe rétractable)
    • Imagerie en électrons transmis (détecteur STEM rétractable)
 
  • Colonne FIB SIINT ZETA  équipée  d’une source Galium
    • Résolution  4 nm @30kV
    • Courant discret de 0,1 pA à 45 nA

Equipements
  • Système d’injection de gaz (GIS) pour réaliser des dépôts localisés : carbone, tungstène (ou platine), SiO2, H20 (comme accélérateur de gravure)
  • Micromanipulateurs de type Kleindiek MM3A-EM
  • Canon Flood Gun neutraliseur de charges positives au cours de l’abrasion ionique ▪ Système de décontamination Evactron par plasma d’oxygène
  • Système de microanalyse X à sélection d’énergie (EDS) avec un détecteur SDD Bruker AXS
  • Système de nanopatterning NPVE – FIBICS avec une solution ATLAS 3D

Rédigé par Rachel Martin

mise à jour le 14 février 2017

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