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Recherche - Formation - Valorisation

Plateforme technologique de caractérisation des matériaux

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> CMTC_Equipements

MEB FEG ZEISS Ultra 55


Microscope électronique à balayage à haute résolution

Spécificité de la machine
  • Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
  • Mode haut vide.
  • Tension d’accélération : 100 V à 30 kV
  • Résolution en électrons secondaires :
    • 1 nm à 15 kV
    • 1,7 nm à 1 kV

Imagerie
  • en électrons secondaires (In-Lens / Everhart-Thornley )
  • en électrons rétrodiffusés (EsB / QBSD)
  • en électrons transmis (STEM)

Équipements
  • Système de microanalyse X à sélection d'énergie (EDS) avec un détecteur SDD (BRUKER AXS-30mm²)
  • Système d'analyse EBSD avec caméra CCD numérique (EDAX HIKARI PRO) et logiciel OIM

mise à jour le 17 juillet 2018

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CMTC
CMTC - Consortium des Moyens Technologiques Communs
Domaine Universitaire - 1260 rue de la Piscine - BP 75
38402 Saint-Martin-d'Hères Cedex
Tél. : +33 (0)4 76 82 66 03  
 

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