MEB FEG JEOL JSM-IT500HR LV

Microscope électronique à balayage à effet de champ

Spécificité de la machine

Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
Mode haut vide (HV) à 10-4Pa ou mode faible vide (LV) de 10 à 150 Pa sous air
Tension d’accélération : 0.5 à 30 kV
Résolution en électrons secondaires (Mode HV) :
- 1,5 nm à 30kV
- 4,0 nm à 1kV

Imagerie en mode haut vide

caméra optique de navigation
en électrons secondaires (Everhart-Thornley )
en électrons rétrodiffusés (BED)

Équipement

Système de microanalyse X à sélection d'énergie (EDS) avec un détecteur SDD (BRUKER 60mm²)

mise à jour le 4 février 2021

Nous écrire

Contact

Réserver un équipement

Avec le soutien

CMTC - Consortium des Moyens Technologiques Communs
Domaine Universitaire - 1260 rue de la Piscine - BP 75
38402 Saint-Martin-d'Hères Cedex
Tél. : +33 (0)4 76 82 66 03