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Grenoble INP
Recherche - Formation - Valorisation

Plateforme technologique de caractérisation des matériaux

Recherche - Formation - Valorisation

MEB FEG Environnemental FEI QUANTA 250


Microscope électronique à balayage à effet de champ environnemental (ESEM FEG)

Spécificité de la machine
  • CMTC-MEB FEG Environnemental FEI QUANTA 250Canon à effet de champ (FEG) de type Schottky
  • Mode haut vide (HV) à 10-4 Pa
  • Mode faible vide (LV) jusqu’à 300 Pa de vapeur d’eau
  • Mode environnemental (ESEM) jusqu’à 3000 Pa de vapeur d’eau
  • Tension d’accélération : 200 V à 30 kV
  • Résolution en électrons secondaires :
    • 1,0 nm à 30 kV et 3 nm à 1 kV (Mode HV)
    • 1,4 nm à 30 kV et 3 nm à 3 kV (Mode LV)

Imagerie
  • en électrons secondaires (Everhart-Thornley en mode HV, LFD en mode LV, GSED en mode ESEM)
  • en électrons rétrodiffusés (vCD en modes HV et LV, GAD en modes LV et ESEM)
  • en électrons transmis (STEM en modes HV et LV, WetSTEM en mode ESEM)

Équipements
  • Platine Peltier équipée du module WetSTEM
  • Platines chauffantes de l’ambiante à 1500°C sous atmosphère de vapeur d’eau
  • Système de microanalyse X à sélection d'énergie (EDS) avec un détecteur SDD (BRUKER AXS-30mm2)

Rédigé par Rachel Martin

mise à jour le 14 février 2017

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